真空設(shè)備的范圍很廣，但它們都有一個(gè)真空系統(tǒng)來抽走空氣或氣體，以獲得真空室內(nèi)部所需的真空條件。
一套完整的真空系統(tǒng)
一個(gè)真空室，通過管道和閥門與真空泵相連，加上一個(gè)真空測量裝置，這就構(gòu)成了最簡單的真空系統(tǒng)。(如圖1)。
當(dāng)需要高真空時(shí)，需要在真空系統(tǒng)中增加一個(gè)高真空泵。此外，還需要在高真空泵的進(jìn)口和出口處添加閥門，以便高真空泵能夠分別保持真空。
如果高真空泵是油擴(kuò)散泵，為了防止大量的油蒸氣返回到被抽容器中，通常在油擴(kuò)散泵的入口處加一個(gè)擋板(如圖2所示)。
根據(jù)需要，還可以在真空系統(tǒng)中增加除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管、真空泵入口放氣閥等，從而構(gòu)成一個(gè)比較完善的高真空系統(tǒng)。
在任何由兩臺或多臺真空泵串聯(lián)組成的真空系統(tǒng)中，低真空泵通常被稱為前級泵，而最高真空泵被稱為真空系統(tǒng)的主泵。被抽真空室的極限真空和工作真空是由主泵決定的。主泵入口處的閥門被稱為主閥。
總而言之，一個(gè)較好的真空系統(tǒng)包括以下內(nèi)容：
- 真空抽氣。預(yù)級泵、主泵
- 真空閥
- 連接管道
- 真空測量裝置
- 其他部件：擋板、除塵器、真空繼電器規(guī)頭、儲氣罐等。