真空設備的范圍很廣,但它們都有一個真空系統來抽走空氣或氣體,以獲得真空室內部所需的真空條件。
一套完整的真空系統
一個真空室,通過管道和閥門與真空泵相連,加上一個真空測量裝置,這就構成了最簡單的真空系統。(如圖1)。
當需要高真空時,需要在真空系統中增加一個高真空泵。此外,還需要在高真空泵的進口和出口處添加閥門,以便高真空泵能夠分別保持真空。
如果高真空泵是油擴散泵,為了防止大量的油蒸氣返回到被抽容器中,通常在油擴散泵的入口處加一個擋板(如圖2所示)。
根據需要,還可以在真空系統中增加除塵器、真空繼電器規頭、真空軟連接管、真空泵入口放氣閥等,從而構成一個比較完善的高真空系統。
在任何由兩臺或多臺真空泵串聯組成的真空系統中,低真空泵通常被稱為前級泵,而最高真空泵被稱為真空系統的主泵。被抽真空室的極限真空和工作真空是由主泵決定的。主泵入口處的閥門被稱為主閥。
總而言之,一個較好的真空系統包括以下內容:
- 真空抽氣。預級泵、主泵
- 真空閥
- 連接管道
- 真空測量裝置
- 其他部件:擋板、除塵器、真空繼電器規頭、儲氣罐等。