滑動(dòng)式退火管式爐（RTP退火爐）以其可移動(dòng)爐膛、快速熱冷技術(shù)和多樣化的爐管材料（在實(shí)驗(yàn)室中廣泛應(yīng)用，特別適用于薄膜沉積、材料退火等實(shí)驗(yàn)。
半導(dǎo)體管式退火爐是實(shí)驗(yàn)室中的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于薄膜制備、材料快速退火、硅化工藝、擴(kuò)散流程、晶化反應(yīng)及致密化等實(shí)驗(yàn)。
藍(lán)寶石退火爐采用創(chuàng)新的升降料臺(tái)及可選軌道式雙臺(tái)車，高效便捷，發(fā)熱元件均勻分布，控溫系統(tǒng)先進(jìn)，確保爐膛內(nèi)溫度均勻精確，工作溫度范圍寬廣，保溫性能卓越且節(jié)能效果顯著。
